様々な対策方法

　クリーンルームでは、清浄度を維持するために、様々な対策が講じられます。

1. 外部からの粒子を持ち込むのを防止する
   ・作業者や大型物品用にエアーシャワーが用いられます。
   　清浄な高速エアーで、人や物品表面の付着粒子を吹き飛ばします。
   ・小型物品の出し入れにはパスボックスが用いられます。
   ・ルーム内を陽圧に保ち、ルーム外から塵埃が流入するのを防止します。
2. 室内で塵埃が発生するのを防止
   ・作業者は、適切にクリーンスーツを着用します。
   ・作業者の動作は、塵埃が発生しにくいように静かに行動します。
   ・装置の可動部からの発塵対策を行います。
3. 発生する塵埃を速やかに排出
   ・適切な気流設計が必要になります。
   ・風量が低下すると、ルーム内圧力が低下するので注意が必要になります。
4. ルーム内に塵埃を蓄積させない
   ・塵埃が蓄積しにくい平滑は構造を採用します。
   ・定期的なルーム清掃を行います。