クリーンストックシステム
レチクルやマスクを補完するシステムです。全自動型と手動型があります。設置場所や収納枚数などにより、設計できます。内部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス１～100に維持されます。
製品のポイント
- 自動入手庫型と手動型があります。
- レチクルやマスクの収容枚数に合わせて設計されます。
- 内部は、クリーンユニットで清浄化されます。
- 清浄度クラスは、ISOクラス３～５（クラス１～１００）に維持されます。
規格・仕様について
| 型式 | RSK-□□□□- □□ |
|---|---|
| 清浄度 | レチクル保管部：ISO3(クラス1) レチクル移動部：ISO4(クラス10) |
| 集塵効率 | 0.1μm粒子にて99.999％以上 |
| 集塵要素 | メインフィルター：ULPAフィルター |
| 処理風量 | 約160m³/min |
| 吹出風速 | 約0.2m/sec ～0.4m/sec |
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz |
| 入出可能ワーク | キヤノン、ニコン6inchレチクルケース兼用 |
| 最大保管数 | 1,036枚 |
| 移動機構 | スカラロボット型4j軸同時補間サーボシステム |
| 入出庫口 | 各5ヶ所 (同時入出庫可能) |
| 構造 | 本体：鋼板製焼付塗装 保管棚板：アルミニウム(アルマイト仕上げ) 保管棚：デルリン樹脂成型品 |
| 電子カタログ |  |
|---|
