よくある質問

○クリーンルームの清浄度規格について

A.

空中浮遊粒子に対する清浄度規格は数種類あります。
代表的な規格であるISO規格、日本工業規格(JIS)を表示します。
参考として米国連邦規格(Fed,Std,209E 米国連邦規格は2001年11月に廃止されました)

清浄度資料